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EFEM是一個(gè)晶圓前端傳輸設(shè)備，是一個(gè)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng)，可以手動或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制，充裕的傳輸間距與工廠交互和簡單的方式供人工服務(wù)。占地面積小，采用帶外部軸的雙臂機(jī)械手，通過雙軸復(fù)合運(yùn)動實(shí)現(xiàn)取放片，極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu)，保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級別，保證晶圓傳輸過程的潔凈度。內(nèi)部帶有多重互鎖保護(hù)，從軟件到硬件，多重保證晶圓傳輸過程中的安全，人員與設(shè)備的安全。
2100*750*2500mm
≤1100kg
class 1
±0.1mm
±0.2°
≥150
