直驅電機結構具有更高的真空特性，內部結構沒有齒輪，皮帶等部件，系統運行的平穩性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調試人員使用，并支持熱插拔功能。可以根據客戶應用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
φ200、φ300mm
≤0.5Kg
±0.05mm
±0.006°
±0.05mm
≤1015mm
360°
90mm/135mm
＜1×10-7 Torr
＜1×10-9 std.cc/sec He
55kg
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